西安弈斯偉硅片項(xiàng)目一期主要新建12英寸(300毫米)集成電路用硅單晶拋光片和外延片,建設(shè)內(nèi)容包括生產(chǎn)廠房、拉晶廠房、綜合動(dòng)力廠房、廢水處理站、固廢站、氣體庫(kù)、化學(xué)品庫(kù)、大宗氣站、門(mén)衛(wèi)等建筑。
主要生產(chǎn)過(guò)程在封閉的一定溫度、濕度以及潔凈度的空間中進(jìn)行,每周工作7天、每天24小時(shí)連續(xù)生產(chǎn),自動(dòng)化程度高,維持生產(chǎn)需要多種氣體、化學(xué)品、水系統(tǒng)等支持。對(duì)用電質(zhì)量穩(wěn)定性及可靠性要求較高,一旦因電力問(wèn)題發(fā)生導(dǎo)致連續(xù)生產(chǎn)被打亂,需要較長(zhǎng)時(shí)間才能恢復(fù)。
本項(xiàng)目需要進(jìn)行諧波治理為加熱爐負(fù)載,加熱爐工作時(shí)會(huì)產(chǎn)生大量諧波電流,產(chǎn)生的諧波不僅影響到自身設(shè)備的正常工作,而且會(huì)注入到電網(wǎng)中影響公共連接點(diǎn)所連接的其他支路的負(fù)荷,給系統(tǒng)帶來(lái)嚴(yán)重的電能質(zhì)量問(wèn)題,不利于供電設(shè)備的安全運(yùn)行。
半導(dǎo)體行業(yè)的3次諧波非常嚴(yán)重,主要是由于生產(chǎn)中使用了大量的單相整流設(shè)備。3次諧波屬于零序諧波,具備在中性線匯集的特點(diǎn),導(dǎo)致中性線壓力過(guò)大,會(huì)出現(xiàn)打火現(xiàn)象,存在著生產(chǎn)安全隱患。諧波還會(huì)造成斷路器跳閘,耽誤生產(chǎn)時(shí)間。3次諧波在變壓器內(nèi)形成環(huán)流,加速了變壓器的老化。嚴(yán)重的諧波污染對(duì)配電系統(tǒng)中的設(shè)備使用效率和壽命造成影響。
針對(duì)本項(xiàng)目低壓供電系統(tǒng),每套加熱爐就地增加BW-APF有源濾波裝置,進(jìn)行諧波治理,可有效保證供電質(zhì)量。
本項(xiàng)目生產(chǎn)線配置東方博沃有源濾波裝置APF,有效補(bǔ)償了負(fù)載運(yùn)行產(chǎn)生的各特征次諧波,消除諧波對(duì)生產(chǎn)環(huán)節(jié)的影響,保證用電設(shè)備的安全運(yùn)行,提高配電系統(tǒng)的穩(wěn)定性,提高變壓器的帶負(fù)載能力,節(jié)約設(shè)備更替的投資。