半導(dǎo)體芯片制造業(yè)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中起著舉足輕重的作用，相關(guān)企業(yè)的規(guī)模也越來(lái)越大，其供配電系統(tǒng)穩(wěn)定、可靠的運(yùn)維不僅是其安全生產(chǎn)的基本保證，還關(guān)系到產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)的順利進(jìn)行。

• 集成電路芯片制造業(yè)屬于資金和技術(shù)高度密集的精密制造行業(yè)，其生產(chǎn)有著顯著的特點(diǎn)，生產(chǎn)過(guò)程要求環(huán)境潔凈度高，對(duì)溫度和濕度均有較為嚴(yán)苛的要求。
• 生產(chǎn)過(guò)程中大規(guī)模使用電子器件和集成電路且自動(dòng)化程度比較高。
• 集成電路芯片制造關(guān)鍵設(shè)備多、工位器具多、工藝步驟繁多復(fù)雜。除供配電系統(tǒng)外，還需傳送系統(tǒng)、超純水凈化系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、氣冷風(fēng)冷系統(tǒng)、特殊氣體分配系統(tǒng)來(lái)保證生產(chǎn)過(guò)程的順利實(shí)施以及關(guān)鍵設(shè)備的安全運(yùn)行。

由于整個(gè)工廠的生產(chǎn)條件***終通過(guò)電能供給來(lái)實(shí)現(xiàn)，因此半導(dǎo)體芯片制造對(duì)供電質(zhì)量要求非常高。

半導(dǎo)體芯片制造生產(chǎn)存在的電能質(zhì)量問(wèn)題

一、諧波問(wèn)題

IC測(cè)試臺(tái)、PLC控制的機(jī)械手、芯片制造用的品圓機(jī)、或變頻控制的半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)都會(huì)產(chǎn)生大量的諧波，它們不但會(huì)造成機(jī)臺(tái)設(shè)備自身的壞機(jī)現(xiàn)象，回流進(jìn)電網(wǎng)的諧波電流還會(huì)引起其它回路的發(fā)熱，電子開(kāi)關(guān)誤動(dòng)作、供電電壓不穩(wěn)，甚至引起生產(chǎn)線停線、半成品的報(bào)廢。

二、電壓暫降及中斷

半導(dǎo)體制造設(shè)備非常昂貴，不少設(shè)備價(jià)值高達(dá)幾百萬(wàn)美元，對(duì)供電電壓波動(dòng)非常敏感，毫秒級(jí)的電壓波動(dòng)，足以使得半導(dǎo)體工廠的工藝設(shè)備發(fā)生停機(jī)從而中斷生產(chǎn)，造成巨大的經(jīng)濟(jì)損失。且芯片生產(chǎn)制造工藝步驟繁多，常規(guī)的動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)內(nèi)存加工工藝需要 200 道以上工序，其中任何一步出錯(cuò)都會(huì)直接影響產(chǎn)品的合格率，讓昂貴的芯片一文不值。

對(duì)電壓波動(dòng)敏感的半導(dǎo)體工藝設(shè)備類型(幾乎囊括了所有半導(dǎo)體設(shè)備的類型)：刻蝕設(shè)備（干刻和濕刻）、膜擴(kuò)散沉淀設(shè)備（化學(xué)氣相沉淀和物理氣相沉淀）、加熱設(shè)備、表面處理和洗凈設(shè)備、光刻設(shè)備（步進(jìn)光刻機(jī)和軌道光刻機(jī)、掃描光刻機(jī)）、化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、離子注入設(shè)備、測(cè)定設(shè)備、自動(dòng)測(cè)試設(shè)備等。

國(guó)家發(fā)改委經(jīng)濟(jì)調(diào)節(jié)運(yùn)行局曾委托亞洲電能質(zhì)量產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟開(kāi)展了電能質(zhì)量經(jīng)濟(jì)性影響調(diào)查，經(jīng)過(guò)大量的調(diào)研與分析，都表明電壓暫降與短時(shí)中斷都是非常顯著的電能質(zhì)量問(wèn)題，且其中半導(dǎo)體行業(yè)因電能質(zhì)量擾動(dòng)帶來(lái)的生產(chǎn)損失巨大。

電壓暫降及中斷使半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備停機(jī)，從而造成的直接損失和間接損失包括

• 直接損失:半導(dǎo)體硅片損壞和浪費(fèi)、設(shè)備壽命縮短甚至損壞、清理產(chǎn)線的人工成本等。
• 間接損失:重新啟動(dòng)生產(chǎn)線需要的時(shí)間、降低產(chǎn)品品質(zhì)、延誤交貨時(shí)間等。

每一次停機(jī)所造成的經(jīng)濟(jì)損失在半導(dǎo)體行業(yè)是以幾十萬(wàn)、幾百萬(wàn)甚至上千萬(wàn)計(jì)算，所以電壓暫降問(wèn)題已成為影響半導(dǎo)體制造廠非常重要的電能質(zhì)量問(wèn)題，加強(qiáng)對(duì)電壓暫降等電壓事件的監(jiān)測(cè)分析與治理具有十分重要的現(xiàn)實(shí)意義。

解決方案

電壓暫降問(wèn)題給半導(dǎo)體行業(yè)帶來(lái)了嚴(yán)重危害，為此，東方博沃提供了一套完整的解決方案，具體如下：

應(yīng)用案例

1、BW-DVR在成都某大型半導(dǎo)體廠家應(yīng)用

2、BW-APF在西安西弈斯偉硅片項(xiàng)目的應(yīng)用